新創Inversion Semiconductor獲美國能源部資助,攜手勞倫斯伯克利國家實驗室,用氣體電漿取代熔融錫開發X光微影技術,並以AI模擬粒子加速器加速研發,目標兩年內挑戰ASML的EUV壟斷地位。